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半導體微電子行業(yè)制程以及生產(chǎn)設備與空氣中氣體化學分子污染物接觸產(chǎn)生那些后果？

更新時間：2025-09-15點擊次數(shù)：401
　　半導體微電子行業(yè)制程以及生產(chǎn)設備與空氣中氣體化學分子污染物接觸產(chǎn)生那些后果？
 
　　把晶圓、LCD或者OLED的基板長時間暴露在潔凈室大環(huán)境中會導致空氣中化學氣態(tài)污染物粘附在基本表面，導致大幅度降低產(chǎn)品良率以及產(chǎn)品性能，增加成本，因此必須祛除揮發(fā)性有機、無機化合物以及空氣中其它顆粒物


 

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